Запатентованы универсальные методы создания материалов для микроэлектронной промышленности
Нижегородские учёные получили плёнку с кремнием в гексагональной фазе. Материал позволит повысить энергоэффективность транзисторов, добиться увеличения тока при меньшем напряжении. Разработка улучшит характеристики базовых элементов микросхем и производительность процессоров. Проект учёных физического факультета ННГУ им. Н.И. Лобачевского остаётся уникальным не только в российской, но и мировой науке.
«Кремний в гексагональной фазе имеет особую кристаллическую структуру. В определённых направлениях повышается проводимость материала, так что электрический ток будет выше. Обычно такие слои неустойчивы и легко превращаются в “обычный” кремний. Нам удалось стабилизировать гексагональную фазу. Это открывает новые перспективы для использования гексагонального кремния в промышленности», – сообщил доцент кафедры квантовых и нейроморфных технологий физического факультета Университета Лобачевского Антон Конаков.
Материал выращивается на подложке из обычного кремния и стабилизируется верхним слоем германия. Между ними формируется однородный и сплошной слой кремния в гексагональной фазе. Такая плёнка может быть использована на больших участках микросхем с большим количеством контактов. Авторы планируют адаптировать и масштабировать разработку для внедрения материала в российскую кремниевую микроэлектронику.
«Кроме непосредственно технологий создания гексагональной фазы кремния нам удалось разработать ряд оригинальных систем для роста тонких плёнок кремния и германия. Эти решения тоже запатентованы. Их можно использовать для создания большого спектра материалов, например, для создания самых разных тонкоплёночных структур, применяемых в микроэлектронной промышленности», – говорит автор разработки, доцент кафедры физики полупроводников, электроники и наноэлектроники физического факультета Университета Лобачевского Николай Кривулин.
Проект реализован в рамках федеральной программы «Приоритет-2030». Разработка запатентована при поддержке Центра трансфера технологий ННГУ в 2024 году.
Ранее сообщалось, что ученые ННГУ разработали новые материалы для 3D-биопечати тканей.
